حسگر گازی بر پایه سیلیکون متخلخل

thesis
  • وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه صنعتی شاهرود - دانشکده علوم انسانی
  • author نازلی توکلی رودی
  • adviser حسین عشقی
  • Number of pages: First 15 pages
  • publication year 1390
abstract

امروزه حسگرهای گازی مبتنی بر سیلیکون متخلخل مورد توجه زیادی قرار گرفته اند. از مهمترین مزیت های این قطعات در مقایسه با حسگرهای اکسید های فلزی آن است که می توانند با بهره نسبتا بالا در دمای اتاق کار کنند. هدف ما در این تحقیق تجربی ساخت و مشخصه یابی حسگرهای گازی بر پایه سیلیکون متخلخل می باشد که بر اساس تغییرات مشخصه الکتریکی جریان-ولتاژ در دمای اتاق کار می کند. نمونه های ما در این تحقیق به روش الکتروشیمیایی و بر روی ویفر سیلیکون بلورین (100) نوع p ساخته شده و سازوکار جذب گازهای مختلف از جمله دی اکسید کربن و نیز گازهای آلی همچون استون، متانول و اتانول مورد بررسی قرار گرفته اند. در این مورد پارامترهای گوناگون شامل غلظت اسید (hf) در محلول، چگالی جریان اعمال شده و زمان آنودیزاسیون بر میزان تخلخل سطح نمونه ها مطالعه شده است. در این تحقیق از مشخصه یابی های وابسته به تصویر برداری میکروسکوپ الکترونی (sem) و طیف سنجی فوتولومینسانس (pl) به عنوان ابزاری برای مقایسه مورفولوژی سطح و میزان نسبی تخلخل در نمونه ها استفاده کرده ایم. نتایج تجربی ما حاکی از آن است که میزان تخلخل سطحی نقشی کلیدی در حسگری نمونه ها داشته که بایستی با تغییر در پارامترهای رشد به شرایط بهینه دست یافت.

First 15 pages

Signup for downloading 15 first pages

Already have an account?login

similar resources

بررسی تاثیر غلظت فسفر بر عملکرد سلول‌های خورشیدی حالت جامد پایه سیلیکون متخلخل

در پژوهش حاضر، تاثیر غلظت فسفر در محلول آلاینده بر عملکرد سلول­های خورشیدی حالت جامد پایه سیلیکون متخلخل مورد بررسی قرار گرفت. برای این منظور بسترهای سیلیکونی به روش حکاکی شیمیایی توسط نقره و با استفاده از محلول حکاکی آبی حاوی هیدروفلوریک اسید و      هیدروژن­پروکسید به نسبت­های 82/0، 87/0 و 89/0 حکاکی شدند و خصوصیات نوری و سطحی آن­ها به ترتیب توسط بازتاب­سنجی و میکروسکوپ­های نوری و الکترونی روب...

full text

مروری بر فرایند تولید سیلیکون متخلخل (علمی-ترویجی)

full text

ساخت حسگر بسپاری منگنز بر پایه پویشگری

در این پژوهش، تهیه یک حسگر بسپاری جدید برای اندازه‌گیری یون منگنز در محیط آبی با استفاده از روش پویشگری به‌دلیل داشتن مزایایی از قبیل ارزانی قیمت، توانایی حمل‌ونقل آسان، امکان به‌کارگیری بسترهای غیرشفاف مانند فیلم‌های بسپاری، امکان اندازه‌گیری تعداد بسیار زیاد نمونه به‌طور هم‌زمان و صرفه‌جویی در زمان معرفی شده است. به‌منظور تهیه فیلم بسپاری حسگر منگنز، بسپار تری‌استیل‌سلولز به‌عنوان بستر انتخاب...

full text

استخراج پارامترهای تشخیص از پاسخ گذرای حسگر گاز الکتروسرامیکی متخلخل

روش جدیدی را برای تشخیص جنس یک گاز هدف خالص در هوا بر اساس تحلیل ریاضی پاسخ گذرای حسگر گاز نیمه هادی پیشنهاد می‌کنیم. حسگر گاز مورد نظر از نوع مقاومتی و دارای بدنه حساس متخلخل است. معادله نفوذ – واکنش در خصوص بدنه متخلخل الکتروسرامیکی و شرایط حدی حاکم بر ساختمان افزار مورد نظر حل گردید. اهم پارامترهای وابسته به نوع گاز (پارامترهای تشخیص) مشخص و آثار ناشی از آنها در پاسخ گذرای حسگر به روشهای رقو...

full text

ساخت محرک مغناطیسی رئولوژیکی بر پایه لاستیک سیلیکون

full text

استخراج پارامترهای تشخیص از پاسخ گذرای حسگر گاز الکتروسرامیکی متخلخل

روش جدیدی را برای تشخیص جنس یک گاز هدف خالص در هوا بر اساس تحلیل ریاضی پاسخ گذرای حسگر گاز نیمه هادی پیشنهاد می کنیم. حسگر گاز مورد نظر از نوع مقاومتی و دارای بدنه حساس متخلخل است. معادله نفوذ – واکنش در خصوص بدنه متخلخل الکتروسرامیکی و شرایط حدی حاکم بر ساختمان افزار مورد نظر حل گردید. اهم پارامترهای وابسته به نوع گاز (پارامترهای تشخیص) مشخص و آثار ناشی از آنها در پاسخ گذرای حسگر به روشهای رقو...

full text

My Resources

Save resource for easier access later

Save to my library Already added to my library

{@ msg_add @}


document type: thesis

وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه صنعتی شاهرود - دانشکده علوم انسانی

Keywords

Hosted on Doprax cloud platform doprax.com

copyright © 2015-2023